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TESCOM 64-3600 系列高靈敏度調(diào)壓器 64-3600 系列超高純度、高靈敏度減壓型調(diào)壓器提供低壓降、束縛隔膜設(shè)計(jì)，具備 10 Ra/0.25 微米表面光潔度以及可選的 Hastelloy® 閥內(nèi)件。 進(jìn)口壓力為 600 或 3500 psig（41.4 bar 或 241 bar），出口壓力可高達(dá) 150 psig （10.3 bar）。

TESCOM 64-3400 系列雙級(jí)調(diào)壓器 64-3400 系列雙級(jí)、超高純度減壓型調(diào)壓器提供束縛閥膜設(shè)計(jì)，具有 10 Ra 微英寸/0.25 微米的表面光潔度以及可選的 Hastelloy® 閥內(nèi)件。 進(jìn)口壓力為 3500 psig / 241 bar，出口壓力可達(dá) 150 psig / 10.3 bar。 非常適合用于氣瓶柜、半導(dǎo)體制造和研究實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。

TESCOM 64-3200 系列 BSGS 調(diào)壓閥 超高純度、高流量連體閥膜減壓閥提供 10 Ra 微英寸/0.25 微米的表面光潔度，并可提供 Hastelloy® 閥內(nèi)件。 大流量可達(dá) 31.8 SCFM / 900 SLPM，進(jìn)口壓力為 150、1000、1500 psig / 10.3、69.0、103 bar，出口壓力可高達(dá) 200 psig / 13.8 b。

TESCOM 64-2800 系列電子調(diào)壓器 64-2800 系列高純度束縛閥膜減壓型調(diào)壓器采用不銹鋼制造，提供 10 Ra 微英寸/0.25 微米的表面光潔度，并經(jīng)過電子級(jí)清潔。 進(jìn)口壓力為 1000 或 3500 psig / 69.0 或 241 bar，出口壓力可高達(dá) 150 psig / 10.3 bar。 非常適合用于 1/4“ 使用點(diǎn)、氣柜、特種氣體調(diào)節(jié)、晶體生長(zhǎng)以及擴(kuò)散爐應(yīng)用。

TESCOM 64-2600 系列電子調(diào)壓器 64-2600 系列經(jīng)濟(jì)型高純度減壓型調(diào)壓器采用不銹鋼制造，具有 10 Ra 的表面光潔度并經(jīng)過了電子級(jí)清潔。 進(jìn)口壓力為 600 或 3500 psig / 41.3 或 241 bar，出口壓力可達(dá) 250 psig /17.2 bar。 非常適合用于 1/4“ 使用點(diǎn)、氣瓶柜、半導(dǎo)體制造、閥箱和研究實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。